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大尺度硅衬底Micro LED外延推进国产微显技能新打破

发布日期:2025-02-05   发布作者: 智能家居

  2024年9月,Meta于Meta Connect 2024大会上发布了选用Micro LED微显技能的轻量全彩AR眼镜原型Orion,调配多种传感器和碳化硅光波导。扎克伯格称其是“世界上最好的AR眼镜”。在Meta官方宣扬片中,英伟达CEO黄仁勋称誉这款AR眼镜:“显现、颜色很不错,眼球追寻技能也很棒。”

  新标杆产品将智能眼镜背面要害的微型显现技能又一次推到了科技探究的论题中心。代表新代代显现技能的Micro LED,在大尺度显现范畴展示出其优异功能后,在微显现范畴也在逐步开放光荣。TrendForce集邦咨询估量,到2030年,Micro LED技能在AR眼镜范畴使用占比将到达44%。

  Micro LED微显现在亮度和可靠性上具有传统技能没办法比较的优势,但是从样品进入规划商用需要时日。我国产学研界正孜孜不倦地联合推进Micro LED微显现的技能进步和工业落地。

  近来,国内企业与高校科研团队强强联合,在Micro LED微显现要害技能上获得最新打破,并在中心世界学术期刊上宣布重要效果。

  为打破Micro LED微显现的全彩瓶颈,本年9月,湖南大学研讨团队联合湖南师范大学、诺视科技公司、晶能光电公司,在学术期刊Advanced Materials宣布了量子点色转化像素集成的Micro LED全彩集成工艺,并制备了40万尼特超高亮度、3300PPI超高分辨率的0.39英寸Micro LED全彩微显现芯片。

  一个月后,湖南大学研讨团队联合诺视科技、晶能光电、数字光芯等合作者,针对现有Micro LED微显现屏在亮度和均匀性难以到达实践使用要求的难题,又在闻名学术期刊Light: Science & Applications上宣布了研讨效果和解决方案。

  联合团队成功开发了包含大尺度高质量硅衬底Micro LED外延片制备工艺、非对准键合集成技能、和原子级侧壁钝化技能的IC级GaN基Micro LED晶圆制作技能,在硅衬底GaN外延片上完成了现在揭露报导最高亮度的1000万尼特的绿光Micro LED微显模组。

  两项Micro LED微显现研讨效果的背面,均是国内LED职业最前沿技能的整合与协作。其间,晶能光电供给了职业顶级的大尺度硅衬底Micro LED外延晶圆。

  现在Micro LED的外延片成长及后续芯片工艺上,主要有两种技能道路英寸的蓝宝石衬底进行外延成长;另一种道路英寸或更大尺度的硅衬底进行Micro LED外延。跟着微米级像素的Micro LED微显现产品进入类IC制程,大尺度的硅衬底GaN基Micro LED外延技能道路逐步体现出高衬底去除良率、高CMOS键合良率、大尺度、低本钱、低翘曲等优胜特性。

  在全球企业活跃深入研讨与发掘Micro LED技能在微显现范畴使用潜能的布景下,晶能光电经过持续研讨完善硅衬底Micro LED外延技能,助力国内Micro LED微显现技能屡次获得抢先效果。未来,晶能光电也将携手我国LED工业研同仁,一起持续打破Micro LED技能难题,引领我国LED职业站在Micro LED技能最顶级。

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